에칭공정1 반도체 8대공정 6탄, 식각공정(Etching) 개념정리 반도체 8대공정 6탄,식각공정(Etching) 개념정리 안녕하세요.오랜만에 연재하는 반도체 8대공정 시리즈입니다.이번 포스팅에서는 식각공정(Etching)에 대해 알아보도록 하겠습니다.식각공정(Etching)이란 포토공정에서 그린 회로 밑그림 중 불필요한 부분을 제거하는 공정입니다.여기서 불필요한 부분은 SiO2층이라고 보시면 됩니다. 크게 Dry Etching(건식식각)과 Wet Etching(습식식각)으로 분류할 수 있습니다. Wet Etching 첫 번째로 Wet Etching입니다.Wet Etching은 용어 그대로 SiO2를 Etching 할 때 HF(Diluted Hydrofluoric acid) 용액에 기판을 담구는 방식으로 진행합니다.이 Wet Etching은 Silicon Orientat.. 2019. 12. 3. 이전 1 다음