Hillock1 반도체 8대공정 5탄, 금속공정(Metalization) 개념정리 반도체 8대공정 5탄, 금속공정(Metalization) 개념정리 Metalization이란 소자 간 연결선 역할을 하는 Interconnect와 S/C에서 전기적인 신호를 받거나 내보내는 역할을 수행하는 Contact를 제작하는 공정입니다. 즉, S/C에 전류가 흐르는 도로를 만드는 과정이 바로 Metalization인 것입니다. 일반적으로 단일층 재료로 Al과 Cu를 사용하고 있고 다층구조에는 Ti와 W를 사용하는 추세입니다. 그렇다면 위에 나와 있는 금속 이외에도 다른 금속을 사용할 수 있을까요?Metalization에 사용하기 위해서는 다음 6가지 조건을 충족해야합니다. - Metalization에서의 Metal의 조건 1. Good adhesion to the Wafer Wafer 표면에 부착하.. 2019. 9. 2. 이전 1 다음